Maurice Benichou s'impose d'abord sur les planches de théâtre avec notamment Patrice Chéreau et Peter Brook, avec qui il entame une longue collaboration. Au cinéma il gravit les échelons petit à petit, et ses apparitions se font de plus en plus fréquentes, parmi :
Le Temps Du Loup,
Qui Perd Gagne,
Caché…
En 2004,
Maurice Benichou joue le vieux Dominique Bretodeau, dans le film à grand succès de Jean-Pierre Jeunet,
Le Fabuleux Destin D'Amélie Poulain. En 2006, il est à l'affiche du drame
Le Passager d'Eric Caravaca, aux côtés de Julie Depardieu, avant de signer pour le film
Nos Retrouvailles, de David Oelhoffen.
En 2008,
Maurice Benichou est à l'affiche de
Paris de Klapisch, de
Passe-passe et de
Le Grand Alibi.